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日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計

產(chǎn)品型號: FUD-1 Model-130

所屬分類(lèi):密度計

產(chǎn)品時(shí)間:2025-05-03

簡(jiǎn)要描述:日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計FUD-1 Model-130
Model-130是一個(gè)概念模型,強調了所測量濃度的穩定性,
在需要高精度和高穩定性密度計側的半導體制造過(guò)程中非常有效。

詳細說(shuō)明:

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計FUD-1 Model-130

日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計

產(chǎn)品總覽

該模型被定位為FUD-1 Model-13的模型,可滿(mǎn)足諸如高精度和高穩定性測量等客戶(hù)需求。

單組分密度計的特點(diǎn)

Model-130是一個(gè)概念模型,強調了所測量濃度的穩定性,
在需要高精度和高穩定性密度計側的半導體制造過(guò)程中非常有效。

值得

  • 可以高精度連續測量

  • 免維護,無(wú)需定期調整/校準

  • 易于安裝,因為在安裝過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行任何調整

  • 通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過(guò)程


用途

  • CMP過(guò)程中的CMP漿料或氧化劑濃度控制

  • 稀釋過(guò)程中各種化學(xué)濃度的管理(H2O2,TMAH,HNO3,H2SO4,HCl等)

  • 清潔過(guò)程中的清潔液濃度控制(HF,NH4OH,KOH,IPA等)

  • 控制蝕刻過(guò)程中的蝕刻液濃度(HF,H2SO4等)



日本富士工業(yè)fuji高精度單組分密度計FUD-1 Model-130

規范

格式FUD-1 130型
測量參數超聲波傳播速度/溫度
顯示LCD(密度,溫度,聲速/各種參數)
輸出信號模擬DC4-20mA(可設置任何濃度值)
數字RS232C(密度/溫度/聲速/錯誤代碼)
警報上下限測量錯誤
電源供應AC100V-240V 50 / 60Hz兩用30VA(也可使用DC24V)
施工面板安裝類(lèi)型(符合DIN標準)
功能輸出范圍設定功能,警報輸出設定功能,濃度顯示移動(dòng)平均功能,濃度顯示偏移及增益設定功能,自診斷功能,故障保險功能,異常值取消功能
選項溫度輸出(DC4?20mA)
渠道高達10Ch
電纜6米
濕件材料PFA涂料
配件公稱(chēng)直徑為1/2到1英寸的各種類(lèi)型
測量環(huán)境轉換器
10-40 ℃ RH85%以下
發(fā)射機5-45°攝氏度
測量液體溫度0-50°攝氏度
耐壓性0.3兆帕
流量5 l / min以下




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