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日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式多組分密度計

日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式多組分密度計

產(chǎn)品型號： FUD-1 Model-53

所屬分類(lèi)：密度計

產(chǎn)品時(shí)間：2025-05-03

簡(jiǎn)要描述：日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式多組分密度計FUD-1 Model-53
產(chǎn)品總覽
該模型在保持FUD-1 Model-53的優(yōu)勢（例如可維護性和高精度在線(xiàn)測量）的同時(shí)，還具有用于半導體制造工藝的小型單元型振蕩器。

詳細說(shuō)明：

日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式多組分密度計FUD-1 Model-53

日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式多組分密度計


產(chǎn)品總覽

該模型在保持FUD-1 Model-53的優(yōu)勢（例如可維護性和高精度在線(xiàn)測量）的同時(shí)，還具有用于半導體制造工藝的小型單元型振蕩器。

多組分濃度計的特點(diǎn)

可以實(shí)時(shí)完成3個(gè)組件的2個(gè)組件密度計側

  • 標配模擬DC 4-20mA（2線(xiàn)）和數字RS232C

  • 標配測量誤差輸出和報警輸出

  • 配備自診斷功能和錯誤信息顯示為標準配置

  • 緊湊輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線(xiàn)上

  • 由于潤濕材料的質(zhì)量以及采用PFA的小產(chǎn)量設計，因此對化學(xué)藥品沒(méi)有影響。


值得

  • 可以高精度連續測量

  • 免維護，無(wú)需定期調整/校準

  • 易于安裝，因為在安裝過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行任何調整

  • 通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過(guò)程


用途

  • CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制

  • 清洗過(guò)程中清洗液的濃度控制（HF + HNO3 ? HF + H2SiF6等）

  • 控制蝕刻過(guò)程中的蝕刻溶液濃度（TMAH +抗蝕劑，TMAH + Si等）



日本富士工業(yè)fuji在線(xiàn)式多組分密度計FUD-1 Model-53

規范

模型FUD-1 53型
轉換器
測量參數超聲波傳播速度，溫度，電導率
顯示LCD（密度1，密度2，溫度，聲速，電導率/各種參數）
輸出信號模擬DC 4?20mA：2個(gè)系統（可自由設定濃度值）
數字RS232C（濃度1，濃度2，聲速，溫度，電導率，錯誤代碼）
報警上下限測量錯誤：2個(gè)系統
電源供應AC100V-240V 50 / 60Hz兩用30VA（也可使用DC24V）
施工面板安裝類(lèi)型（符合DIN標準）
環(huán)境溫度轉換器0-50°攝氏度
RH85％以下（無(wú)凝結）
功能輸出范圍設定功能，警報輸出設定功能，濃度顯示移動(dòng)平均值功能，濃度顯示偏移及增益設定功能，自診斷功能，故障保險功能，異常值取消功能，溫度時(shí)間常數校正
選項溫度輸出（DC4?20mA）
RS485輸出（不能與RS232C同時(shí)輸出）
通道（校準曲線(xiàn)）高達7ch
合適的發(fā)射器示例SA-20S29 +電導率儀，SA-20S27 +電導率儀


模型發(fā)射機
SA-20S29 +電導率儀SA-20S27 +電導率儀
震動(dòng)元素PZT（2MHz）x1PZT（2MHz）x2
測量元件熱敏電阻熱敏電阻
測量液體溫度0-100°攝氏度0-80°攝氏度
施工流通池流通池
濕件材料PFA / PFA涂層PFA
聯(lián)合3/4配件（可更換）3/4配件（可更換）
耐壓性0.3兆帕0.3兆帕
流量5l / min（推薦）5l / min（推薦）
重量2.5公斤2.5公斤
電纜電纜6m電纜6m
環(huán)境溫度5-45°攝氏度5-45°攝氏度




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