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用于太陽(yáng)能電池等各種制造設備的壓力監測用壓力計CCMT-D系列介紹
CCMT-D系列是電容式壓力計，其陶瓷膜片因氣壓變化而變形，并通過(guò)電容的變化來(lái)檢測壓力。傳感器部分采用陶瓷制成的一體化結構，因此具有優(yōu)異的再現性和穩定性，無(wú)論何種氣體（絕對壓力表），都可以精確測量低真空和中真空區域的壓力。
用于薄膜沉積設備過(guò)程中的壓力監測
用于真空熔煉、真空熱處理爐等真空排氣系統的壓力監測。
用于太陽(yáng)能電池等各種制造設備的壓力監測
長(cháng)期穩定
由于使用陶瓷膜，具有優(yōu)異的耐腐蝕性
內置溫度補償電路型
新采用的結構可保護傳感器免受污垢影響
可通過(guò)按鈕進(jìn)行零點(diǎn)調整
| 模型 | CCMT-D | ||
| 測量 滿(mǎn)量程 | CCMT-1000D | 133kPa 滿(mǎn)量程 | |
| CCMT-100D | 13.3kPa滿(mǎn)量程 | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa滿(mǎn)量程 | ||
| CCMT-1D | 133Pa 滿(mǎn)量程 | ||
| 解決 | 整個(gè)案例為 0.003% | ||
| 準確度*1 | ±0.2%示值 ±溫度系數 | ||
| 溫度系數 | 零電壓 | 0.005%FS/℃ | |
| 量程電壓 | 0.01% R/℃ | ||
| 工作溫度范圍 | 10~50℃ | ||
| 響應速度 | 30毫秒或更短 | ||
| 氣體接觸材料 | Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3 | ||
| 輸入功率 | DC14~30V，1W | ||
| 輸出 | 直流0~10VF.S | ||
| 大量的 | 329g（直徑12.7/標準型） | ||
| 外形尺寸 | 直徑55mm x 117mm（直徑12.7mm，標準型） | ||
| 配件 | 標準：直徑12.7管材 選項：NW16KF、Cajon 8VCR | ||
| 溫度補償 | 內置溫度補償電路 | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15 針公頭 | ||
| *1：打開(kāi)電源2小時(shí)后，工作環(huán)境溫度為25℃。 |
| *2：18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe |
| *3：28%鎳、23%鈷、49%鐵 |
