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產(chǎn)品型號:
所屬分類(lèi):振動(dòng)檢測
產(chǎn)品時(shí)間:2025-05-03
簡(jiǎn)要描述:日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H配備了專(zhuān)門(mén)用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動(dòng)。原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計算,高精度高輸出執行器可立即消除振動(dòng)。
日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H
配備了專(zhuān)門(mén)用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準確掌握微小的振動(dòng)。
原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計算,高精度高輸出執行器可立即消除振動(dòng)。
超靈敏的加速度傳感器慷慨地安裝在地板一側,前饋控制實(shí)現了世界上gao水平的隔振性能。
在保持高性能和高精度隔振性能而沒(méi)有共振現象的同時(shí),安裝臺的激振力所產(chǎn)生的振動(dòng)也會(huì )同時(shí)衰減。
它具有與VAAV-A系列相同的性能,但可以使設備的整體高度較低。
氣動(dòng)控制可實(shí)現全fang位高精度的位移和位置控制。
可以選擇能夠應對較大移動(dòng)負載的高速響應大流量閥。
安全可靠的設計與CE標記兼容。(控制器SAC-07)
標配臺前饋功能和振動(dòng)波形顯示分析軟件。
在半導體制造和檢查設備中,它被用作需要精細處理的晶片的振動(dòng)對策以及用于移動(dòng)晶片的臺架的振動(dòng)對策。
在液晶制造和檢查設備中,其目的是在機架和工作臺明顯移動(dòng)時(shí)快速衰減振動(dòng),并用于立即檢查和校正,這有助于縮短節拍時(shí)間。
在超精密機床中,它用于消除工作臺上的振動(dòng),該工作臺用于精密加工,同時(shí)支持大載荷的運動(dòng)。
日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H
模型 | 可安裝質(zhì)量(1個(gè)單位) | 尺寸(1個(gè)單位) |
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VAAV-1000-110H | 500-1700公斤 | 240(寬)x 240(深)x 110(高)毫米 |
VAAV-2200-110H | 1100-3700公斤 | 350(W)x 350(D)x 110(H)毫米 |
VAAV-4000-110H | 2100-7000公斤 | 420(寬)x 420(深)x 110(高)mm |
VAAV-7000-120H | 3600?12000公斤 | 450(W)x 450(D)x 120(H)毫米 |
*防震臺的標準配置為4個(gè)/單位。
*表中的大值可以在沒(méi)有均勻負載和沒(méi)有動(dòng)態(tài)負載的情況下應用。
控制器 SAC-07 | ![]() |
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電源供應 | AC100V-240V 100VA(單相) |
電源線(xiàn) | 3m |
調節器 RGU-07 | 250(W)x 100(D)x 200(H)毫米 |
單元連接電纜 | 5m |
自由度 | 3軸6自由度 |
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振動(dòng)傳遞函數 | |
定位精度 | ±10微米 |
主供氣壓力 | 0.6MPa以上(清潔空氣) |
耗氣量 | 標準閥60 L / min 高速響應閥250 L / min |