氧氣濃度檢測儀在半導體制造過(guò)程中的重要性

發(fā)布時(shí)間：2024-12-18　點(diǎn)擊量：741

氧氣濃度檢測儀在半導體制造過(guò)程中的重要性

半導體行業(yè)是一個(gè)全球性的巨大行業(yè)，每年都在持續增長(cháng)，這意味著(zhù)對高純度氣體的需求將隨之增長(cháng)。

擁有可靠的高純度氣體供應對于半導體制造至關(guān)重要，尤其是在智能手機和自動(dòng)駕駛汽車(chē)等先進(jìn)技術(shù)方面。

生產(chǎn)集成電路的過(guò)程很復雜，在所有階段都需要 30 多種不同的氣體，這使得使用的氣體范圍成為任何行業(yè)中廣泛的氣體之一。

氣體是半導體制造的重要組成部分，因為氣體可以產(chǎn)生塑造半導體電氣特性所需的化學(xué)反應。由于其復雜性，在制造過(guò)程的每個(gè)階段使用的氣體都需要精確和準確，以正確配置半導體。

如您所知，氧氣是一種氧化劑，因此它對于產(chǎn)生沉積反應至關(guān)重要。它用于生長(cháng)用于工藝中各種元素的氧化硅層，例如擴散掩模。

當使用氧氣進(jìn)行半導體制造時(shí)，氣體必須是超高純度的，以防止任何雜質(zhì)影響器件的生產(chǎn)和性能。

在蝕刻過(guò)程中，氧氣也用于去除產(chǎn)生的任何額外材料廢料。它也可以用來(lái)使任何蝕刻圖案。

最后，氧氣還有助于通過(guò)可能改變產(chǎn)品質(zhì)量的氧化反應中和反應性氣體。因此，與氮氣類(lèi)似，氧氣也有助于確保不會(huì )發(fā)生任何污染。

檢測部分采用穩定氧化鋯陶瓷的便攜式氧氣計。這是一個(gè)集成傳感器、控制單元、流量計、泵和過(guò)濾器。

模型	EZY-1-G	EZY-1-R	EZY-1-B	EZY-2-G	EZY-2-R	EZY-2-B
顏色	綠色的	紅色的	藍色的	綠色的	紅色的	藍色的
類(lèi)型	無(wú)采樣泵			帶采樣泵
原則	氧化鋯陶瓷電化學(xué)電池
作品	SS盒、TB傳感器、C-301控制單元、帶針閥的流量計等。
測量范圍	1ppm～100% O2
展示	%: 0~99.99%O2 ppm : 0~ 9999ppmO2
輸出	4~20mADC（隔離） 0~1VDC、0~5VDC、0~10VDC（隔離，選其一） RS-232C 繼電器接點(diǎn)：3點(diǎn)（A接點(diǎn)），集電極開(kāi)路輸出：2點(diǎn)（以下可任意分配）濃度報警：Hi/Lo、HHi/Hi 或 Lo/LLo（LCD 顯示）傳感器異常（故障）報警：加熱器、RTD斷線(xiàn)（LCD顯示）預熱完成信號范圍回復
接點(diǎn)輸入	遠程校準變送輸出（電壓/電流）保持遠程量程切換
量程切換	自動(dòng)/手動(dòng)/遠程
初始設置	0~25.00%O2 / 0~ 9999ppmO2
樣本吸取	樣品壓配合			內置泵抽吸
樣品壓力	高達 2 個(gè)大氣壓
漂移線(xiàn)性重復性響應速度管道連接樣品流速樣品溫度預熱時(shí)間電源配件	±2%FS 以?xún)?周 ±1%FS 或 ±1ppm 以?xún)?，以較大者為準在 ±1%FS 或 ±1ppm 以?xún)?，以較大者為準 10秒內90%響應（如果向高濃度側擺動(dòng)） RC1/4 0.2～2L/分鐘最高60℃ 約20分鐘免費電源（85-260VAC）電源線(xiàn)3m

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