使用 MA 方法加速測量氣體/水蒸氣滲透率的研究

MA方法的特點(diǎn)是在測量樣品和連接到水蒸氣或氣體的QMS的空間之間提供支撐層。

支架具有延遲氣體流入QMS側面空間的作用，因此可以防止更換樣品時(shí)檢測器側面空間的污染。結果，QMS側的空間始終保持高真空度，從而可以縮短或消除預處理時(shí)間。

將樣品室向大氣開(kāi)放約90秒后，進(jìn)行約24小時(shí)的測量。未檢測到大氣成分水、氮氣和氧氣，表明QMS側空間保持清潔的環(huán)境。

減少樣品損壞

右圖是測量后樣品的照片。
支撐件起到緩沖器的作用，這是傳統壓差方法的一個(gè)問(wèn)題。
還可以減少測量過(guò)程中對樣品的損壞。
通過(guò)采用使用支撐體的測量方法，即使是薄且易碎的樣品、容易破碎的樣品以及難以處理的樣品，也可以高精度地進(jìn)行測量。

實(shí)現 SI 可追溯

QMS是一種可以高靈敏度定量各種氣體的檢測器，但靈敏度根據氣體類(lèi)型的不同而變化很大。此外，靈敏度可能會(huì )根據使用歷史和環(huán)境而變化，因此需要定期校準。

該設備具有內置校準機制，使用 SI 可溯源標準電導元件 (SCE)，使校準變得容易。
校準時(shí)，將校準氣體（用戶(hù)指的氣體或水蒸氣）通過(guò)SCE引入檢測器，如右圖所示。通過(guò)繪制 QMS 輸出與供應側壓力變化的關(guān)系圖，可以獲得校準曲線(xiàn)。

1. 氣體/水蒸氣滲透率測量裝置：?jiǎn)问倚停∕AT）

實(shí)現快速測量、靈敏度和 SI 可追溯性

該裝置快速、高靈敏度、高精度，可以測量薄膜的氣體阻隔性能。它有助于各個(gè)領(lǐng)域的研究和開(kāi)發(fā)，不僅包括
需要高水蒸氣阻隔性能的有機器件和太陽(yáng)能電池，還包括食品和藥品包裝，其中氧氣阻隔性能對于防止氧化引起的質(zhì)量劣化非常重要。

可以檢測到10 -7 g/m 2 /天的水蒸氣滲透率水平，這相當于每天在面積與10個(gè)足球場(chǎng)相同的樣品(薄膜)上滴一滴水。
此外，新開(kāi)發(fā)的測量方法大大縮短了測量時(shí)間，并且
通過(guò)使用公共機構的校準器，可以進(jìn)行可追溯至國家標準的定量測量。

我們在國內外學(xué)術(shù)會(huì )議和展覽會(huì )上廣泛推廣我們的產(chǎn)品，以促進(jìn)國際標準，
目前我們擁有大量向國內外（尤其是中國）顯示器和器件制造商、公共機構等客戶(hù)的銷(xiāo)售記錄。

除了用于有機器件、太陽(yáng)能電池、食品和包裝的阻隔薄膜和片材之外，我們在測量
半導體和半導體陶瓷、容器和包裝玻璃以及電子元件金屬方面也擁有豐富的經(jīng)驗。