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用于硅晶片表面氧化時(shí)的加熱和檢查用鹵素燈介紹
在半導體制造過(guò)程中用作鹵素燈泡,用于硅晶片表面氧化時(shí)的加熱和檢查。
★ 鹵素燈因其溫度高、紅外輻射集中,是半導體行業(yè)硅片外延生長(cháng)過(guò)程的理想熱源。這些燈提供明亮、均勻的光線(xiàn),并且使用壽命長(cháng),減少了維護工作量和成本。
我們的主要紅外鹵素燈在半導體行業(yè)中用作硅晶圓外延加工的熱源。
★ 它也可以很好地用作聚光燈,通過(guò)使用鹵素燈泡,您可以創(chuàng )造出適合您需求的照明環(huán)境。對于那些尋求專(zhuān)業(yè)照明解決方案的人來(lái)說(shuō),我們的鹵素燈的選擇。
我們的主要紅外鹵素燈在半導體行業(yè)中用作硅晶圓外延加工的熱源。
★ 我們提供適合各種應用的一系列產(chǎn)品,因此您可以選擇適合您特定要求的燈。我們提供多種選擇來(lái)滿(mǎn)足任何照明需求。
場(chǎng)所提供您對聚光燈的要求,我們可以使用鹵素燈泡營(yíng)造的氛圍。
★ 如果您有興趣,請隨時(shí)與我們聯(lián)系,我們將提供更詳細的信息和目錄。
適合專(zhuān)業(yè)應用的燈,請隨時(shí)聯(lián)系。
應用:
設備應用:
●CVD化學(xué)氣相沉積
●多晶硅沉積
●外延/外延加工
●RTP快速熱處理
●氧化
●離子注入退火
設備名稱(chēng) 設備 | 型號 P/N | 燈 燈說(shuō)明 |
在 | 1010-01116 | JCD120-800W |
在 | 1010-01088 | JCV120V-1000WB |
在 | 0190-22509 | A6 |
在 | 0190-42680 | A8 |
在 | 0190-39351 | E9 |
在 | 0190-36349 | 82V 500W 黑色 |
在 | 0190-38516 | 82V 540W 藍色 |
在 | 0190-38517 | 95V 645W 紅色 |
在 | 0190-26805 | 95V 645W 綠色 |