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通過(guò)將金屬電極放置在陶瓷內部并將它們燒結在一起，可以制造靜電吸盤(pán)和陶瓷加熱器。
我們擁有一系列靜電吸盤(pán)/陶瓷加熱器，可充分利用各種材料技術(shù)來(lái)滿(mǎn)足用戶(hù)需求。我們根據等離子體環(huán)境領(lǐng)域和電子束使用領(lǐng)域等應用提供從開(kāi)發(fā)到原型設計階段的產(chǎn)品。
通過(guò)控制AlN的體積電阻率，可以獲得較寬的溫度范圍和足夠的吸附能力。
通過(guò)高度靈活的加熱器設計可以實(shí)現出色的溫度均勻性。
由于A(yíng)lN和電極是一體燒結的，因此不會(huì )因電極劣化而隨時(shí)間發(fā)生變化。
還提供采用粘合技術(shù)的陶瓷空心結構。
?采用層壓技術(shù)，可實(shí)現高的面內溫度均勻性。
?通過(guò)使用高純度氧化鋁，可以減少金屬污染。
?在鹵素氣體等離子環(huán)境下具有優(yōu)異的耐久性。
使用我們的氧化鋁噴涂技術(shù)可以形成致密的絕緣層。
與氧化鋁板型相比，其制造成本更低。
與更便宜的薄膜類(lèi)型相比，它具有更高的耐用性。
通過(guò)使用高導熱率的AlN，可以實(shí)現優(yōu)異的溫度均勻性（±0.3%）。
我們擁有IR相機、TC晶圓等特色檢測環(huán)境。
平整度0.2μm以下
根據晶圓形狀形成卡盤(pán)形狀（凹凸控制）。
