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screen用于光刻的黃光SEBAPRO Light技術(shù)分析

發(fā)布時(shí)間：2023-02-08　點(diǎn)擊量：917

screen用于光刻的黃光SEBAPRO Light技術(shù)分析

活躍于各種光刻環(huán)境。

光源使用不具有抗蝕劑敏感波長(cháng)范圍的國產(chǎn)高亮度LED。維護工程師和工藝工程師可以放心使用。高效的驅動(dòng)電路設計，實(shí)現了與白光LED同等的功耗水平。采用變焦機構，投光區域可通過(guò)操作調節環(huán)從寬到窄自由調節。

特征

  • 光源使用不具有抗蝕劑敏感波長(cháng)范圍的黃色LED。

  • 采用高亮度、高效率的驅動(dòng)電路。實(shí)現與白色 LED 相同的省電水平。

  • 平衡合身性和便攜性的設計。隨附一條帶子以確保牢固固定。

SEBAPRO Light（光刻和維護用燈）

一種高強度黃光，非常適合在高級曝光機和涂布機/顯影設備等光刻環(huán)境中工作。它消除了暴露在白光下的風(fēng)險，并顯著(zhù)提高了可加工性。

新型號為充電規范Rev2。

SEBAPRO Light Surface（用于檢查不均勻涂層的光）

便于現場(chǎng)檢查涂層不均勻性的手持燈。使現場(chǎng)決策更快，大大改善了過(guò)程評估和設備條件設置工作。

后繼車(chē)型于 2021 年 4 月發(fā)布。

發(fā)射光譜