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日本seisen半導體氣體過(guò)濾器產(chǎn)品分析

發(fā)布時(shí)間：2023-02-07　點(diǎn)擊量：1462

日本seisen半導體氣體過(guò)濾器產(chǎn)品分析

NASclean®是將微米級不銹鋼短纖維（SUS316L）燒結而成的薄層金屬膜過(guò)濾器。我們通過(guò)從過(guò)濾介質(zhì)（不銹鋼短纖維）到最終產(chǎn)品的一體化生產(chǎn)，為半導體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池板等生產(chǎn)過(guò)程中使用的氣體過(guò)濾做出貢獻。

用于工藝氣體

照片：

  • 使用不銹鋼短纖維的金屬膜過(guò)濾器。

  • 壓力損失小，顆粒去除性能高。

  • 適用于100SLM以下的流量，可用于各種工藝氣體。

用于工藝氣體管線(xiàn)的小流量過(guò)濾器 (186KB)

用于散裝氣體

照片：

  • 過(guò)濾介質(zhì)的褶皺形狀即使在高流量下也能實(shí)現低壓損失。

  • 高溫烘烤是可能的，因為它是全金屬的。

  • 支持高達3000Nm 3 /hr的大流量。

用于散裝氣體管線(xiàn)的大流量過(guò)濾器 (178KB)

用于設備保護

照片：

  • MFC、閥門(mén)、調節器等設備保護過(guò)濾器

  • 可根據使用條件選擇低壓型或高壓型。

  • 可安裝在現有管道上。

管式高壓超精密過(guò)濾器 (199KB)
低壓用圓盤(pán)式超精密過(guò)濾器 (182KB)

用于 IGS 面板

照片：

  • 與集成氣體面板過(guò)濾器、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Seal 兼容。

  • 通過(guò)采用褶皺介質(zhì)實(shí)現小型化。

  • 采用機械密封，介質(zhì)部分為無(wú)焊縫結構。

用于集成氣體面板的 IGS 過(guò)濾器 (202KB)

用于擴散器

照片：

  • 使用褶皺介質(zhì)可實(shí)現高速排氣。

  • 通過(guò)防止顆粒卷起有助于提高產(chǎn)品產(chǎn)量。

  • 可根據安裝空間進(jìn)行設計。

用于常壓恢復的高速排氣過(guò)濾器 (189KB)