optiworks 4D動(dòng)態(tài)干涉測量法技術(shù)分析

傳統的移相干涉儀使用壓電元件等移動(dòng)參考平面，獲取干涉條紋的圖像，并計算相位分布。單次測量至少需要100毫秒，在此期間干涉儀與測量樣品之間會(huì )發(fā)生相對振動(dòng)和空氣波動(dòng)，導致干涉條紋發(fā)生波動(dòng)，導致測量誤差增加。為了防止這種情況，需要光學(xué)面板、防振裝置、擋風(fēng)玻璃等。

4D Technology的動(dòng)態(tài)干涉儀是一種劃時(shí)代的系統，以其“動(dòng)態(tài)干涉測量"解決了此類(lèi)問(wèn)題。

在“動(dòng)態(tài)干涉"中，無(wú)需機械移動(dòng)參考平面，一次圖像數據采集即可獲得四幀相移干涉圖。由于對相機的每個(gè)像素進(jìn)行相移，因此可以穩定地收集數據，并且由于一次測量的時(shí)間可以縮短到 30 微秒，因此可以在干涉圖像因振動(dòng)等而發(fā)生變化之前的瞬間進(jìn)行測量。

這使得可以在振動(dòng)不可避免的環(huán)境中進(jìn)行測量，測量遠處的樣品和移動(dòng)物體，以及測量在室內進(jìn)行環(huán)境試驗的樣品。

“4Sight™"數據分析軟件

用于高級干涉儀的高級軟件。4D Technology 的 4Sight™ 被認為業(yè)界先進(jìn)的干涉測量軟件。

數據采集
?可以在4Sight™測量控制臺查看實(shí)時(shí)圖像的同時(shí)進(jìn)行調整
?多種數據采集模式，如單次、平均、連續、差分和突發(fā)（電影）

數據分析
?斜率、直方圖
?衍射分析（PSF、MTF、自協(xié)方差）
?幾何光學(xué)分析（點(diǎn)擴散強度分布、圓形或方形孔徑能量分布）
?澤尼克分析
?各種掩模函數和其他自定義分析函數可以添加。