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適用于小樣品檢測的3D表面形狀測量系統介紹

發(fā)布時(shí)間：2022-04-08　點(diǎn)擊量：980

適用于小樣品檢測的3D表面形狀測量系統介紹

它是一個(gè)使用白光干涉技術(shù)的系統，可以非接觸測量包括臺階和粗糙度在內的三維形狀。

Profilm 3D 適用于測量小樣本，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
多種測量模式，包括垂直掃描干涉法 (WLI)，適合微米級臺階和形狀的高精度測量，相移干涉法 (PSI)，適合測量納米級形狀和粗糙度。包括標準步驟樣品在內的一切都是標準設備，包括用于放大物鏡、自動(dòng)載物臺以及便于操作和分析和管理測量數據的軟件。

主要特點(diǎn)

  • 低價(jià)！
    在配備所有必要功能的同時(shí)實(shí)現低價(jià)

  • 納米量級
    的高分辨率 采用相移干涉法實(shí)現高分辨率

  • 全標準設備
    XY自動(dòng)載物臺、手動(dòng)左輪、自動(dòng)光強調節、自動(dòng)對焦功能

  • 緊湊型外殼
    主體占地面積為 30 x 30 厘米的緊湊型設計。

  • 配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式
    一個(gè)裝置同時(shí)測量步距測量和粗糙度測量

  • 操作
    簡(jiǎn)單 基本操作只需簡(jiǎn)單的鼠標操作

  • 符合 ISO 標準的粗糙度測量符合
    國際標準 ISO25178

  • 擴展
    性 多種物鏡選擇、數據拼接功能

主要用途

半導體晶圓凸塊、CMP焊盤(pán)等
醫療領(lǐng)域注射針、人工關(guān)節、支架等
安裝板銅線(xiàn)、凸塊、透鏡等



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